ミニマルファブとは、産総研コンソーシアムが提唱した、多品種少量および変種変量生産ニーズに適応できる、まったく新しい半導体生産システムです。
装置を小型化し、クリーンルームを不要とすることにより、 投資額を従来のメガファブに比べて1/1000に抑える事が出来、地球環境対応と産業力強化の同時実現を目指しています。

当社は、一般社団法人ミニマルファブ推進機構の中核メンバーとして、様々な開発の支援を行ってきました。
中でも、全装置共通の筐体は、従来の半導体製造装置にはない、民生品開発のアプローチを取り入れるため、当社のパートナーである優秀な工業デザイナー様を紹介し、産総研様、デザイナー様、当社の3社で擦り合わせをしながら、ミニマルファブ筐体を創り上げました。
本案件を遂行するにあたり、当社では、半導体製造装置設計の経験が豊富なエンジニアと民生品設計の経験が豊富なエンジニアをアサインし、お客様の求める理想の筐体を設計しました。
また、各装置メーカー様への筐体の販売も当社にて行っております。

本筐体は、2014年グッドデザイン・未来づくりデザイン賞を受賞しました。
デザインはテシマ デザイン スタジオ （代表：手島彰氏）との連携により開発。

その他にも、下記開発も当社にて行いました。

• ・ドッキングシステム、搬送ユニットの試作機開発
• ・プラズマエッチング装置の試作機開発
• ・ウエハ目視検査機の試作機開発
• ・プロービング装置の試作機開発