当社はミニマルファブ構想の実現、および事業化に向けて、2019年より新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）からの助成をうけて開発を行っております。
具体的には、（１）ウェハ・プロセス総合管理システム開発、（２）装置間搬送ユニット開発を担っており、早期実現に向け開発を進めております。

（１）ウェハ・プロセス総合管理システム開発
ミニマルシステムを利用した半導体デバイス製造ファブの実現のための、各プロセス装置を機能的かつ高効率に稼働させる、レシピ及びその権利者、ウェハ、ハードウエアなどを紐づけ、総合的に管理、運用するシステムを構築する。

（２）装置間搬送ユニット開発
ウェハ・プロセス統合管理システムを実際に適用するため、具体的な装置間搬送ユニットを並行して開発する。
ウェハシャトル識別手法、ウェハシャトルの位置決め自由度の向上、ユニットの着脱構造、ユニットの小型化、手動運転との両立、デザイン性の向上を図る。

■2019年度戦略的省エネルギー技術革新プログラム 第2回公募採択テーマ一覧