ミニマルファブ向け自動シャトル搬送システム【特許出願中の要素あり】

Case Study ものづくり事例紹介

ミニマルファブにおいて、人の手を介さずにウェハの搬送および製造処理をコントロールする自動搬送は、長い間、待ち望まれていました。
ミニマルファクトリーシステム開発の一環として、NEDOから助成をうけて、当社が自動シャトル搬送システムを開発しました。

自動シャトル搬送システムは、複数のハードウェア・ソフトウェアから成り立っており、「機械」「電気・電子」「ソフトウェア」3分野での高い技術を揃えている当社だからこそ開発できたといえます。

ウェハごとにプロセスフローを設定し、それに従ってシャトルを自動的に搬送、製造処理をコントロールします。
各装置とのインターフェースについては、プロトコルやデータフォーマットなどの通信仕様の発案から行いました。

ミニマル装置間を跨ぐシャトル搬送が可能になります。
約5400㎤という空間内に電子基板を含むハードウェアの機構全てを収めることに苦心しました。

シャトルの自動供給・回収が可能です。
より高機能なものも構想にはありましたが、コストを抑えるために簡易版を開発しました。

ミニマルファブで半導体デバイスを量産する場合においては必須のシステムであり、またミニマルファブを広めていくための営業ツールとしても役立てるものと考えています。多くのお客様にご利用いただけるよう、営業活動を進めてまいります。