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2023.07.11
東京大学様に当社の自動シャトル搬送システムが導入されました
多品種少量および変種変量生産ニーズに適応できる半導体生産システムであるミニマルファブにおいて、人の手を介さずにウェハの搬送および製造処理をコントロールする自動搬送をミニマルファクトリーシステム開発の一環として、国立研究開発法人 新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）から助成をうけて、当社が自動シャトル搬送システムを開発し、その搬送システムが東京大学様へ導入されました。
2023.07.11
多品種少量および変種変量生産ニーズに適応できる半導体生産システムであるミニマルファブにおいて、人の手を介さずにウェハの搬送および製造処理をコントロールする自動搬送をミニマルファクトリーシステム開発の一環として、国立研究開発法人 新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）から助成をうけて、当社が自動シャトル搬送システムを開発し、その搬送システムが東京大学様へ導入されました。